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产品特点

1.该设备生长温度更低

2.使用滑轨炉实现快速升温和降温，多功沉积速率快

3.设备辉光均匀等效，系统均匀生长，多功成膜质量好

4.支持外部真空规和压力变送器

5.支持智能进气，系统根据需要设定不同的多功温度，自动进气，系统进气定时间到后自动停止进气

6.支持云端数据存储，多功随时查看数据

7.支持炉膛移动速度调节

8.支持射频电源根据外部工况条件自动启动停止

9.支持压力恒定，系统压力可以设定

10.支持超压保护，多功大压力值可以设定，系统超过后系统自动进入保护