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铟属于稀散金属,长沙材废是铟靶一种稀缺的战略资源。铟因其光渗透性和导电性强,收业收主要可用于生产ITO靶材,表上而ITO靶材是长沙材废制造液晶显示器和平板屏幕的主要原材料,这一用途是铟靶铟的主要消费领域,占全球铟消费量的收业收70%;ITO靶材生产及其后续加工过程中产生的边角料、切屑和废品,表上以及溅射镀膜后的长沙材废废靶材等,是铟靶铟的二次再生资源的主要来源。
对ITO废靶材中铟锡进行资源化的收业收关键是要综合考量铟锡的分离率、直收率以及产品和副产品的表上品质等经济技术指标。上述几种主流的长沙材废从ITO废靶中综合回收铟锡的工艺中有一个共性的问题,那就是铟靶铟锡的分离不够彻底,铟的收业收回收率在97%~98%,进一步提升铟收率的空间较小,产生的锡渣或粗锡中含铟较高,作为锡原料或产品出售时会造成铟的损失;所以,探寻一种从ITO废靶材中充分、彻底分离并回收铟锡的新方法显得尤为重要。
ITO(氧化铟锡)靶材是溅射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一种,在显示靶材中占比将近50%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。
目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场,仅占国内市场30%的份额;而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口,占据了70%的市场份额。
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